揭开扫描电镜的秘密：从原理到实践

原理

扫描电镜（Sem）是一种先进的显微镜，其工作原理是使用聚焦的电子束扫描样品的表面，并检测它产生的信号。

电子束与样品作用时，会产生以下几种信号：

• 二次电子：从样品表面弹出的电子，提供样品表面形貌信息。
• 背散射电子：从样品表面反弹的高能电子，提供样品组成信息。
• 特征X射线：当电子束击中样品中特定元素时产生的X射线，提供样品元素组成信息。

SEM通过检测这些信号，可以生成样品表面详细的三维图像，并提供有关其成分的信息。

样品制备

SEM成像要求样品具有导电性或半导电性。因此，绝缘体或非导电样品需要在成像前进行导电涂层处理。

其他样品制备步骤可能包括：

• 固定样品以防止移动。
• 脱水以去除水分。
• 切割和抛光样品表面以获得平坦的表面。

操作

SEM成像过程包括以下步骤：

1. 将样品装入SEM腔室。
2. 抽真空以去除腔室中的空气。
3. 聚焦电子束并将其扫描到样品表面。
4. 检测二次电子、背散射电子和特征X射线信号。

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