扫描电子显微镜 (SEM) 操作指南

简介

扫描电子显微镜 (SEM) 是一种用于成像材料表面微观结构的强大工具。通过发射电子束并检测它们与样品的相互作用，SEM 可以产生高分辨率图像，显示样品的表面形貌、组成和晶体结构。

操作步骤

1. 样品制备

样品应干净、干燥且有导电性。对于非导电样品，需要进行涂覆导电层。

2. 安装样品

将样品固定在样品台上。确保样品表面朝上，与电子束垂直。

3. 设定仪器参数

设定加速电压（通常为 5-30 kV）。选择适当的工作距离。设定电子束强度（探针电流）。

4. 聚焦电子束

使用粗调和细调旋钮聚焦电子束。调整焦距，直到样品的表面清晰可见。

5. 成像

选择合适的扫描模式（二次电子、背散射电子等）。设置放大倍率和扫描速度。开始扫描以获取样品的图像。

6. 图像处理

使用图像处理软件增强图像对比度和分辨率。进行修整和分析以提取所需信息。

注意事项

操作 SEM 时必须穿戴合适的安全装备。不要将样品暴露在过高的电子束强度下。保持 SEM 室内的清洁和无尘。定期对仪器进行维护和校准。

应用

SEM 有广泛的应用，包括：检查材料表面缺陷分析材料成分和结构研究生物样品进行法医分析质量控制和故障诊断

结论

扫描电子显微镜是一种多功能且强大的工具，可用于表征材料的微观结构。通过遵循本指南中概述的操作步骤，您可以使用 SEM 成功获取高质量的图像，从而获得有关样品的宝贵信息。

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